摘要：本发明公开了一种多层结构的纳米复合刀具涂层及其制备方法。一种多层结构的纳米复合刀具涂层，其特征在于，包括依次沉积于刀具基体表面的CrN结合层、AlTiN过渡层、AlTiN/TiSiN支撑层和TiSiN功能层；所述CrN结合层的厚度为0.1～0.5μm；所述AlTiN过渡层的厚度为0.5～3μm；所述AlTiN/TiSiN支撑层为TiSiN和AlTiN周期性交替沉积结构，每一周期TiSiN和AlTiN交替沉积厚度称为调制周期且为0.1～1μm，交替沉积次数为1～30次；所述TiSiN功能层厚度为0.5～3μm。上述多层结构的纳米复合刀具涂层具备较高硬度及很好耐磨性能。
- 专利类型发明专利
- 申请人科汇纳米技术（深圳）有限公司;广东工业大学;
- 发明人郭光宇;王成勇;陈金海;钟伟强;郑李娟;
- 地址518000 广东省深圳市宝安区福永街道桥头社区重庆路2号第2栋第二层厂房
- 申请号CN201510549033.6
- 申请时间2015年08月31日
- 申请公布号CN105112858A
- 申请公布时间2015年12月02日
- 分类号C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C28/04(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
