摘要：本发明公开了一种存取分开式的坩埚自动存取柜及坩埚自动存取方法，包括柜体，柜体侧壁下部开设有坩埚存放口、且侧壁上部开设有坩埚取出口，柜体内从上至下依次设有用于吸附坩埚的吸附组件、用于存储坩埚的坩埚挂板组件和用于带动坩埚上下运动的升降组件，多个坩埚依次叠加且挂载于坩埚挂板组件上，升降组件靠近坩埚存放口设置用于将要存放的坩埚向上提升并挂载在坩埚挂板组件上，吸附组件靠近坩埚取出口设置且处于坩埚挂板组件的上方用于吸附经升降组件提升上来的坩埚。本发明具有坩埚存放多、柜体空间小、存取过程方便快捷、能连续存取的优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人湖南三德科技股份有限公司;
- 发明人肖兵球;吴成乞;李冬军;
- 地址410205 湖南省长沙市高新区桐梓坡西路558号
- 申请号CN201510637975.X
- 申请时间2015年09月30日
- 申请公布号CN105108723B
- 申请公布时间2017年03月22日
- 分类号B25H3/00(2006.01)I;
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