摘要:本发明公开了一种动磁式长行程超精密直线运动机构,包括定子线圈组件、气浮支承组件和永磁体动子组件,定子线圈组件包括定子气浮导轨和电感组件;气浮支承组件包括气浮轴承;永磁体动子组件包括动子基座、永磁体安装座及永磁体组,动子基座固定安装在气浮轴承上,动子基座向下设置永磁体安装座,每个永磁体安装座上安装一永磁体组,永磁体组包括多个永磁体,并且同一永磁体安装座上的永磁体的同一侧磁场极性相同,以用于驱动永磁体组和气浮轴承沿定子气浮导轨的纵向移动。本发明采用均匀布置的长行程线圈绕组作为定子,与传统的以永磁体组做定子的直线电机相比,可以显著降低甚至避免因永磁体磁场不均导致的电磁驱动力波动。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人姜伟;陈学东;王小力;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201510569390.9
- 申请时间2015年09月09日
- 申请公布号CN105099122A
- 申请公布时间2015年11月25日
- 分类号H02K41/02(2006.01)I;H02K9/19(2006.01)I;