摘要：本发明提供了一种硅片分布状态光电图像组合扫描的方法及装置，其在位于硅片承载器圆周侧边的机械手上U形端部的相对位置，设置有两个工作在自接收和/或互接收模式的光电传感器，机械手为该光电传感器提供水平和垂直和/或定位的移动，执行硅片凸片的异常状态预扫描和循环扫描指令，以及图像传感单元定位于承载器侧边周围，并沿硅片的平行方向，从上至下依次拍摄硅片组中每片硅片的侧边平面图像，判断相应硅片是否存在斜片、叠片和/或空片的异常状态；且本发明还在承载器的周围布设多个扫描检测点，可以快速准确检测硅片半导体设备承载区域内的硅片分布状态，很好地避免了机械手运动造成硅片及设备损伤，且进一步地提高了检测精度。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人徐冬;慕晓航;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201510337586.5
- 申请时间2015年06月17日
- 申请公布号CN105097591A
- 申请公布时间2015年11月25日
- 分类号H01L21/66(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
