摘要：一种组合式半导体热处理设备的硅片承载区扫描的方法及装置，其在位于硅片承载器圆周侧边的机械手上U形端部的相对位置，设置有两个工作在自接收和/或互接收模式的光电传感器/超声波传感器，执行硅片凸片的异常状态预扫描和循环扫描指令，以及图像传感单元(包括多个图像传感器)固定位于承载器侧周，即布设多个扫描检测点，其将随所述承载器移动至其坐标位置的第一个放置硅片的位置作为起始采集位置，沿硅片放置的平行方向拍摄所有硅片的侧边平面图像，并判断相应硅片是否存在斜片、叠片和/或空片的异常状态；本发明可以快速准确检测硅片半导体设备承载区域内的硅片分布状态，很好地避免了机械手运动造成硅片及设备损伤。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人徐冬;慕晓航;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201510337040.X
- 申请时间2015年06月17日
- 申请公布号CN105097590A
- 申请公布时间2015年11月25日
- 分类号H01L21/66(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
