摘要：本发明提供一种光学检测装置及方法，包括垂直设置的测量光路和参考光路，在所述测量光路上依次设置有激光器、扩束镜、分束器、补偿器、移动反射镜和压电陶瓷，当所述压电陶瓷发生形变时，所述移动反光镜随压电陶瓷形变在测量光路方向上发生位移，所述压电陶瓷还连接有控制电箱；在所述参考光路包括与分光器处于同一轴线上的固定反射镜和观察屏，所述反射镜和观察屏分别设置在分光器的上方和下方。本发明的有益效果是能够方便的改变施加在压电陶瓷两端的电压，进而改变压电陶瓷的电场强度，能够精确的测量压电陶瓷微小的伸长量。
- 专利类型发明专利
- 申请人天津港东科技发展股份有限公司;
- 发明人张姝;张甫顺;
- 地址300384 天津市南开区华苑产业园区鑫贸科技园G座EF单元
- 申请号CN201510593154.0
- 申请时间2015年09月17日
- 申请公布号CN105092987A
- 申请公布时间2015年11月25日
- 分类号G01R29/22(2006.01)I;G01B21/02(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
