摘要：本发明提供一种扫描电镜探针电流检测装置和一种扫描电镜，其中的扫描单元在正扫阶段时，偏转单元控制其中的电子束不发生偏转，检测电路不进行电子束的采样操作，此时电子束正常通过镜筒，打到样品表面，实现对样品的成像。扫描单元在回扫阶段时，偏转单元控制其中的电子束发生偏转，检测电路进行电子束的采样操作，由此得到探针电流的数值。这一过程完全不需要移动样品台进行。由于回扫阶段电子束不参与成像，所以利用回扫阶段进行探针电流检测不会中断扫描电镜的图像采集，在电镜图像采集的同时实时检测探针电流的变化，高效地完成进行探针电流检测。同时由于探针电流检测不需要移动样品台进行，因此对样品台的精度要求可以有所降低。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京中科科仪股份有限公司;
- 发明人王大千;孟祥良;
- 地址100190 北京市海淀区中关村北二条13号
- 申请号CN201510257327.1
- 申请时间2015年05月19日
- 申请公布号CN105006416A
- 申请公布时间2015年10月28日
- 分类号H01J37/28(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I;G01R19/00(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
