摘要：一种涡旋干式真空泵，属于容积式真空泵技术领域。在涡旋干式真空泵的涡旋定盘上设置有若干处辅助排气阀，辅助排气阀的分布方式为：以涡旋工作腔的最大基圆展开角处为起点，且展开角每减小2π就沿涡旋型线方向布置一个辅助排气阀。本发明与现有技术相比，突破了现有涡旋干式真空泵在定压比工作方式上的限制，在涡旋定盘上设置了辅助排气阀，当入口压力较高时，能够及时通过辅助排气阀排除涡旋工作腔内的一部分高压气体，使涡旋工作腔的压力降到合理水平，在很大程度上避免了过压缩现象的产生，从而减小涡旋体所受到的冲击作用，使涡旋干式真空泵具有了工作平稳、振动小及节约能源的特点。
- 专利类型发明专利
- 申请人东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人巴德纯;张英莉;岳向吉;陆艳君;王光玉;张振厚;
- 地址110819 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号
- 申请号CN201510330862.5
- 申请时间2015年06月15日
- 申请公布号CN104989641A
- 申请公布时间2015年10月21日
- 分类号F04C18/02(2006.01)I;F04C29/12(2006.01)I;
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