一种多晶硅制绒刻蚀废液的处理方法

　　摘要：本发明涉及一种多晶硅制绒刻蚀废液的处理方法，它包括以下步骤：（a）在搅拌条件下，向废液中加入碱金属化合物反应至不再产生沉淀，过滤得第一沉淀和第一滤液；（b）在搅拌条件下，向所述第一滤液中加入碱土金属化合物反应至不再产生沉淀，过滤得第二沉淀和第二滤液；（c）对所述第二滤液进行浓缩结晶得硝酸盐固体。本发明多晶硅制绒刻蚀废液的处理方法，通过向废液中加入碱金属化合物反应至不再产生沉淀，过滤后向滤液中加入碱土金属化合物再过滤，最后浓缩，这样能够将废液中的氟硅酸根离子、氟离子除去，并得到氟硅酸盐、氟化盐及硝酸盐固体，既能够保护环境，又能够产生新的经济效益。

专利类型发明专利
申请人苏州晶洲装备科技有限公司;
发明人蒋新;朱信俊;施利君;柳小平;
地址215555 江苏省苏州市常熟市辛庄镇光伏产业园光华环路32号
申请号CN201510379906.3
申请时间2015年07月02日
申请公布号CN104986771A
申请公布时间2015年10月21日
分类号C01B33/10(2006.01)I;C01B9/08(2006.01)I;C01F5/38(2006.01)I;C01F11/36(2006.01)I;