摘要：一种硅片分布状态图像组合检测方法以及装置，该装置包括在位于硅片组上方设置图像传感单元，以及设置在机械手上的光电扫描单元或超声扫描单元；且光电扫描单元或超声扫描单元通过机械手驱动水平或垂直定位；在第一检测阶段的图像采集模式下，执行硅片凸片的异常状态极限位置预扫描指令；通过在第二检测阶段的光电扫描/超声扫描单元先工作在自接收测距模式，进行在预扫描出凸片上方所有硅片的循环扫描指令，第三检测阶段转换为互接收工作模式，执行硅片分布状态异常扫描指令，以及第四检测阶段又转换成自接收工作模式，执行在预扫描出凸片下方所有硅片的循环扫描指令；且在承载器的周围布设多个扫描检测点，进一步地提高了检测精度。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人徐冬;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201510338376.8
- 申请时间2015年06月17日
- 申请公布号CN104979229A
- 申请公布时间2015年10月14日
- 分类号H01L21/66(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
