摘要：本发明提供一种能提高排气量和极限真空度并能谋求装置的小型化的隔膜真空泵。该隔膜真空泵通过如下方式形成，即，形成隔膜真空泵单元(11a)，并将隔膜真空泵单元沿上下方向叠放多层，利用齿形带(2)将在上下方向上相邻的隔膜真空泵单元的凸轮轴彼此连结起来，并将一个隔膜真空泵单元的凸轮轴(12a)连接于马达(12)，隔膜真空泵单元包括：凸轮轴；曲轴机构(13)，通过凸轮轴的旋转进行工作；连接构件(14)，利用曲轴机构而沿水平方向进行往复运动；隔膜(15、16)，其安装于连接构件的两端部；一对泵室(17、18)，其容积通过隔膜的动作而扩大或缩小；与泵室相连通的进气通路和排气通路；进气侧止回阀；排气侧止回阀。
- 专利类型发明专利
- 申请人东京理化器械株式会社;
- 发明人有贺真一;
- 地址日本东京都
- 申请号CN201410677561.5
- 申请时间2014年11月21日
- 申请公布号CN104976106A
- 申请公布时间2015年10月14日
- 分类号F04B43/02(2006.01)I;
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