摘要：本发明公开了一种利用同步辐射大面积快速制备颜色滤波器的方法及装置。本发明利用同步辐射软X射线照射四光栅组，通过挡板滤去其他衍射级次，只保留一级衍射条纹形成干涉图样，对玻璃基底上的光刻胶曝光形成周期性二维孔状微纳结构，通过精确控制样品台的二维平移，实现快速大面积拼接曝光。后续用电子束蒸镀技术将金属蒸镀于孔中，并通过超声清洗机剥离光刻胶实现玻璃基底上二维金属圆柱微纳结构阵列的颜色滤波器制备。本发明具有精度高、速度快、装置结构简单、易于操作等优点。制备出的滤波器具有大面积、偏振无关、超高透射率等特点，在色彩合成图像显示、图像传感器、数码摄像机、投影仪等领域的实际应用中具有重要作用。
- 专利类型发明专利
- 申请人浙江大学;
- 发明人张冬仙;吴青峻;胡晓琳;史斌;孙理斌;杨树敏;王连升;赵俊;薛超凡;吴衍青;邰仁忠;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- 申请号CN201510259584.9
- 申请时间2015年05月21日
- 申请公布号CN104880914B
- 申请公布时间2017年03月01日
- 分类号G03F7/20(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
