摘要:本发明提供一种CIGS薄膜太阳能电池刻划设备,包括支撑底座、y向移动单元、x向移动单元、加工平台、光路刻划装置、机械刻划装置及控制单元;光路刻划装置安装在x向移动单元上,且其具有进行第一道刻划的P1刻划模块和进行第四道刻划的P4.1刻划模块;机械刻划装置设于x向移动单元的底端,且其具有进行第二道刻划的P2刻划模块、进行第三道刻划的P3刻划模块和进行第四道刻划的P4.2刻划模块。由于该刻划设备配置有光路刻划装置和机械刻划装置,可根据实际情况对CIGS薄膜太阳能电池的叠层在同一刻划设备上进行刻划,解决了当前的CIGS薄膜太阳能电池刻划方式需要两台或以上刻划设备才能完成刻划操作的问题。
- 专利类型发明专利
- 申请人大族激光科技产业集团股份有限公司;
- 发明人陶尚辉;王振华;杨凯;黄秋香;谢建;高云峰;
- 地址518000 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号
- 申请号CN201410004969.6
- 申请时间2014年01月06日
- 申请公布号CN104766904B
- 申请公布时间2017年01月11日
- 分类号H01L31/18(2006.01)I;B23K26/36(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I;