摘要：本发明公开了一种Au－碱土金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法，包括步骤：将清洗干净的玻璃衬底放入制膜设备反应室中；将金属金粉末和碱土金属氧化物粉末分别放置在两个瓷舟中，再将两个瓷舟放入制膜设备反应室的恒温中心位置，玻璃衬底置于两个瓷舟上方并与两个瓷舟紧贴；对反应室抽真空处理；对反应室加热到500～1100℃后，向反应室通入氩气，并对金源和碱土金属氧化物源蒸发处理；待上述步骤完成后，制得所述Au－碱土金属氧化物纳米线透明导电薄膜。本发明采用热蒸发设备，制备Au－碱土金属氧化物纳米线透明导电薄膜，得到薄膜的方块电阻低至18Ω/□，可见光透过率达91%，表面功函数达2.8eV。
- 专利类型发明专利
- 申请人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
- 发明人周明杰;王平;陈吉星;张振华;
- 地址518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层
- 申请号CN201310731734.2
- 申请时间2013年12月26日
- 申请公布号CN104746012A
- 申请公布时间2015年07月01日
- 分类号C23C14/24(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;
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