摘要：本发明公开了一种支撑脚装置，包括支撑环及沿支撑环圆周上方滑槽安装的若干支撑脚本体，支撑脚本体与支撑环之间通过磁性接触方式形成软性连接，可沿支撑环圆周任意调节安装位置及对心距离，避免机械手在触碰时造成损坏；采用环形支撑面结构，使支撑面相对后移，可缩小支撑环直径，避免晶片从支撑环的内径处跌落，并可实现360度自动对心。本发明具有结构简单、易实现、可不受设备结构限制、节省设备空间的显著优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人李广义;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201510142610.X
- 申请时间2015年03月27日
- 申请公布号CN104733366A
- 申请公布时间2015年06月24日
- 分类号H01L21/683(2006.01)I;F16M7/00(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
