摘要:本发明适用于光学对焦领域,提供了一种光路放大的自动对焦装置,包括:发光部分1、分光镜2、第一柱面镜5和一维位置敏感器6;一维位置敏感器6、第一柱面镜5和分光器2从上往下依次设置于聚焦镜4的正上方;分光镜2相对聚焦镜4倾斜设置,发光部分1设置在分光镜2的斜向下面的水平侧;发光部分1出射光束经分光镜2部分反射,通过聚焦镜4聚焦至聚焦镜4下方的被测工件3上,在工件3上形成反射光再次通过聚焦镜4,经分光镜2部分透射后,经柱面镜5一维聚焦后,入射到一维位置敏感器6上。利用柱面镜的一维聚焦功能,实现离焦量被放大至一维位置敏感传感器显示,达到高精度测量离焦量的目的。
- 专利类型发明专利
- 申请人武汉华工激光工程有限责任公司;
- 发明人何智恒;张丽华;雷桂明;王雪辉;聂茂泉;
- 地址430223 湖北省武汉市东湖开发区华中科技大学科技园激光产业园
- 申请号CN201410851988.2
- 申请时间2014年12月31日
- 申请公布号CN104714289A
- 申请公布时间2015年06月17日
- 分类号G02B7/09(2006.01)I;