导电薄膜、其制备方法及应用

　　摘要：一种导电薄膜，包括层叠的ZnO：xM³⁺层及MeO层，其中，ZnO：xM³⁺层是铝掺杂氧化锌，镓掺杂氧化锌或铟掺杂氧化锌的薄膜层，MeO层为氧化钙，氧化锶或氧化钡的薄膜层，其中，x为0～0.08，具有较高的透光和低的电阻，薄膜做成纳米线的集合，相对于普通的透明导电薄膜，还具有散射效率，提高了有机电致发光器件的出光效率。上述导电薄膜通过在ZnO：xM³⁺层的表面沉积MeO层制备双层导电薄膜，该薄膜具有较低的表面功函数，可作为阴极材料使用，提高发光效率。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。

专利类型发明专利
申请人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
发明人周明杰;陈吉星;黄辉;王平;
地址518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层
申请号CN201310634113.2
申请时间2013年11月30日
申请公布号CN104681732A
申请公布时间2015年06月03日
分类号H01L51/52(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/28(2006.01)I;