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    导电薄膜、其制备方法及应用

      摘要:一种导电薄膜,包括层叠的D2O3层,D导电层及V2O5层,其中,D2O3层为三氧化二铝,三氧化二镓或三氧化二铟,D导电层的材料为金属铝,金属镓或金属铟。上述导电薄膜通过在D2O3层的表面沉积,D导电层及高功函的V2O5层制备多层导电薄膜,D2O3层既作为缓冲层和匹配层,使导电薄膜的功函数得到了显著的提高并具有较高的透光性。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
    • 发明人周明杰;陈吉星;王平;黄辉;
    • 地址518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层
    • 申请号CN201310634797.6
    • 申请时间2013年11月30日
    • 申请公布号CN104681131A
    • 申请公布时间2015年06月03日
    • 分类号H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;