导电薄膜、其制备方法及应用

　　摘要：一种导电薄膜，包括层叠的M₂O层，M导电层及R₂O层，其中，M₂O层的材料为氧化铜，氧化银或氧化铜银合金，M导电层的材料为金属铜，金属银或铜银合金，R₂O层的材料为氧化锂，氧化钠，氧化钾，氧化铷或氧化铯。上述导电薄膜通过在M₂O层的表面沉积导电层及低功函的R₂O层制备多层导电薄膜，M₂O层既作为缓冲层和匹配层，既为M层导电作好铺垫，保障叠层薄膜的导电性能，又与金属M层形成增透，提高薄膜的光学透过性能，而R₂O层是低功函的材料，制备在叠层的表面使导电薄膜的功函数得到了显著的降低并具有较高的透光性。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。

专利类型发明专利
申请人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
发明人周明杰;陈吉星;王平;黄辉;
地址518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层
申请号CN201310634130.6
申请时间2013年11月30日
申请公布号CN104681130A
申请公布时间2015年06月03日
分类号H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;