摘要：本发明提出多层型导电膜及其制备方法和电致发光器件，所述多层型导电膜由依次层叠的第一层膜、第二层膜以及第三层膜组成；其中：第一层膜的材质为Al2O3；第二层膜的材质为Al；第三层膜的材质为MO3，M为W、Mo或Re。本发明多层型导电膜通过制备三层堆叠式的薄膜结构，得到高功函，低电阻，高透光的性能。本发明多层型导电膜的制备只需要两种金属靶材，材料简单，工艺简单，容易成膜，整个制备过程可以同一腔体中进行，不需要转移引入其他污染。
- 专利类型发明专利
- 申请人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
- 发明人周明杰;陈吉星;王平;黄辉;
- 地址518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层
- 申请号CN201310613012.7
- 申请时间2013年11月27日
- 申请公布号CN104681128A
- 申请公布时间2015年06月03日
- 分类号H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;
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