摘要：一种导电薄膜，包括层叠的In2-xDxO3层及L2O3层，所述D选自Sn，Ti和Zr中至少一种，所述L2O3选自Eu2O3，Sm2O3，Y2O3，Gd2O3和Nd2O3中至少一种，X为0.005～0.15。上述导电薄膜通过在高导电的In2-xDxO3层的表面沉积低功函的L2O3层制备双层导电薄膜，既能保持In2-xDxO3层的良好的导电性能，又使导电薄膜的低功函的特性。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。
- 专利类型发明专利
- 申请人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
- 发明人周明杰;陈吉星;王平;黄辉;
- 地址518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层
- 申请号CN201310578957.X
- 申请时间2013年11月18日
- 申请公布号CN104658639A
- 申请公布时间2015年05月27日
- 分类号H01B5/14(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;
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