摘要:本发明公开了一种Ni-W-Cr合金靶材的制造方法。该方法依次包括配料步骤,熔炼、铸锭步骤,锻造步骤,一次热处理步骤,轧制步骤、二次热处理步骤和机加工生产成品步骤。通过本发明方法制造的Ni-W-Cr合金靶材具有成品成分控制精确,成分分布均匀、无偏析,无夹杂,晶粒细小均匀,成品纯度高等优点,具体如下:成分控制精确≤0.2at%,平均晶粒度不大于16μm,纯度高达99.95%以上。
- 专利类型发明专利
- 申请人安泰科技股份有限公司;
- 发明人张凤戈;李建奎;穆健刚;姚伟;姜海;梁俊才;文彬;刘健;陈鹏;王雷;
- 地址100081 北京市海淀区学院南路76号
- 申请号CN201310596415.5
- 申请时间2013年11月21日
- 申请公布号CN104646930A
- 申请公布时间2015年05月27日
- 分类号B23P15/00(2006.01)I;C22C19/05(2006.01)I;C22C1/02(2006.01)I;B22D7/00(2006.01)I;