摘要：本发明公开了一种自动化测量半导体电阻率及赛贝克系数的测试方法及系统，其中方法包括以下步骤：将待测样品置于真空环境内，并对待测样品的两端进行加热，并控制两端的温度差；间隔发送PID曲线，该PID曲线包括三个温度点：初始温度点，下一个待测温度点和预设的最终测试温度点；该PID曲线确定原则：温度测试间隔???????????????????????????????????????????????![]()
T=By-Ay，Ay为初始温度，By为下一个待测试温度；根据该PID曲线采集待测样品的与电阻率和赛贝克系数相关的物理量数据，直到PID曲线的下一个待测温度达到预设的最终测试温度；根据采集的物理量数据计算得到电阻率和赛贝克系数。
- 专利类型发明专利
- 申请人武汉嘉仪通科技有限公司;
- 发明人王愿兵;杨君友;姜庆辉;童浩;吴燕雄;连小康;蔡颖锐;王康;
- 地址430075 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城起步区A5北4号楼11层
- 申请号CN201510075078.4
- 申请时间2015年02月12日
- 申请公布号CN104635058A
- 申请公布时间2015年05月20日
- 分类号G01R27/14(2006.01)I;G01N25/00(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
