摘要：本发明涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种用于降温炉体的进排风系统，该进排风系统包括进风风路和排风风路，所述进风风路上设有进风阀门，通过进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度；所述排风风路上设有排风阀门，通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关。通过所述进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度，可精确控制进入所述降温炉体内的低温的冷却介质，通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关，可精确控制排出所述降温炉体的高温冷却介质，从而保证降温炉体的降温性能，进而保证半导体热处理工艺的质量。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人孙少东;侯建明;周厉颖;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201510060784.1
- 申请时间2015年02月05日
- 申请公布号CN104634115A
- 申请公布时间2015年05月20日
- 分类号F27D9/00(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
