摘要：本发明为高集成度和实用性的干式真空泵抽气工艺模拟测试方法和测试系统，通过组建的模拟真空室，集成了气、液、电、磁、热、粉尘、腐蚀性等多种干式真空泵应用环境中常见的元素，使用多种传感器对同时具有温度、湿度、气体成分、实时图像、压力、流量和噪声等信号进行反馈，并通过多个控制系统进行监控，对干式真空泵抽气工艺适应情况进行检验和完善。本发明的测试系统采用严格的污染物收集和接驳处理，并具有危险示警和自动保护功能系统，具有安全性、智能性、绿色环保的特点和良好的可重复性，可以模拟包括输送、物理气相沉积、化学气相沉积、刻蚀、光刻、化工、制药等在内的清洁、轻度污染、中度污染和重度污染真空环境的真空泵抽气工艺环境。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人张振厚;王光玉;刘坤;孔祥玲;张晓玉;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号
- 申请号CN201310572691.8
- 申请时间2013年11月15日
- 申请公布号CN104632604A
- 申请公布时间2015年05月20日
- 分类号F04B51/00(2006.01)I;
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