摘要：本发明涉及玻璃、塑料和陶瓷基体上制备各类薄膜的技术领域，具体地说是一种在五腔体全自动电子束沉积系统中使用的传输系统。包括自动传输机构、升降气缸、样品载板及样品架，所述五腔体包括依次相连通的传输腔I、装载腔I、工艺腔、装载腔II及传输腔II，其中装载腔I、工艺腔及装载腔II内均设有升降气缸、样品载板及样品架，所述样品架与电机连接、并通过电机的驱动进行旋转，所述样品载板设置于样品架上，所述升降气缸对样品载板进行提拉或放下，所述自动传输机构携带样品载板在腔体间运动。本发明在产量高的同时，节约工艺腔在每次取换样品载板后的抽气时间，让工艺过程与取放样品载板同时进行。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人赵科新;赵崇凌;李士军;洪克超;徐宝利;张健;张冬;王磊;李松;林峰雪;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号
- 申请号CN201310563039.X
- 申请时间2013年11月13日
- 申请公布号CN104630737A
- 申请公布时间2015年05月20日
- 分类号C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;
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