摘要：本发明提供一种机械手晶圆定心装置及方法，该装置包括：高速IO采集电路，用于采集AWC传感器信号，生成高速IO信号；FPGA模块，用于将高速IO信号线与成串行中断信号，输出给嵌入式CPU模块；该FPGA模块还用于将嵌入式CPU模块的地址数据转换成对驱动器的控制信号输出，以纠正机械手的位置；嵌入式CPU模块，用于接收高速IO信号并锁存伺服轴位置值，并根据伺服轴位置值计算出机械手传输晶圆过程中实际中心与示教中心的偏位，通过地址数据输出控制指令。本发明提供的机械手晶圆定心装置及方法集成多组高速IO信号采集电路，结构紧凑、故障点少、采集电路可灵活配置。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人褚明杰;曲道奎;徐方;刘世昌;邹风山;杨奇峰;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201310566847.1
- 申请时间2013年11月13日
- 申请公布号CN104626151B
- 申请公布时间2016年06月29日
- 分类号B25J9/18(2006.01)I;
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