摘要：本发明公开了一种离子源三维联动机构，包括：Y轴调节装置、安装在所述Y轴调节装置上的Z轴调节装置、倾斜安装在所述Z轴调节装置上的X轴调节装置以及安装在所述X轴调节装置上的离子源装置；所述X轴调节装置包括X轴基座、X轴升降滑槽部件、离子源X轴斜滑槽部件，通过安装安装在所述X轴升降滑槽部件内的离子源装置上的固定部件穿过滑槽并至斜滑槽并随着斜滑槽围绕离子源X轴斜滑槽部件中心的转动，带动离子源装置的运动。本发明可以通过调节Y轴调节装置、Z轴调节装置以及X轴调节装置来调节离子源与锥口的相对位置，达到使数量更多的离子化效果更理想的离子进入锥口的目的，以获得更强的信号。
- 专利类型发明专利
- 申请人江苏天瑞仪器股份有限公司;
- 发明人应刚;张轶鸣;谢文沛;周立;
- 地址215347 江苏省苏州市昆山市玉山镇中华园西路1888号天瑞产业园
- 申请号CN201510084083.1
- 申请时间2015年02月16日
- 申请公布号CN104616961A
- 申请公布时间2015年05月13日
- 分类号H01J49/04(2006.01)I;H01J49/10(2006.01)I;
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