摘要：本发明公开了一种面、线CCD组合的白光干涉原子力探针扫描显微镜测量系统及其测量方法，该测量系统包括面、线CCD测量系统，原子力探针扫描显微镜组件，干涉光源系统，调整系统以及数据处理系统；干涉光源系统用于产生测试的白光光源传输于原子力探针扫描显微镜组件，其产生包含样品信息的干涉条纹；数据处理系统连接所述面、线CCD测量系统，分析所述干涉条纹，由此实现干涉零级条纹的测量，从而获得样品表面信息。按照本发明实现的面、线CCD组合的白光干涉原子力探针扫描显微镜测量系统及其测量方法，能够实现结构简单，高速度，高精度和高分辨率以及直观测量，由此解决原子力探针对焦困难，以及原子力探针微悬臂变形的检测的问题。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人卢文龙;庾能国;刘晓军;杨文军;常素萍;曾春阳;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201510061415.4
- 申请时间2015年02月05日
- 申请公布号CN104614558B
- 申请公布时间2015年08月19日
- 分类号G01Q60/24(2010.01)I;G01Q20/02(2010.01)I;
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