摘要:本发明公开了一种分子泵的转子,在转子的每层叶片之间不留间隙,并去除原分子泵转子中的定片,直接将各层叶片层联接;并通过调整不同层叶片的抽速与压缩比,使所述转子整体各层叶片的抽气效能相互衔接。所述各层转子叶片被设计成相邻层叶片首尾相连的涡轮型结构,并利用光滑连续的曲面连接所述各层转子叶片。通过优化转子叶片的结构,大幅降低加工转子的难度,并降低了分子泵的损坏几率。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京北仪创新真空技术有限责任公司;
- 发明人董欣;郁晋军;朱秀明;
- 地址102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪器仪表基地
- 申请号CN201510092140.0
- 申请时间2015年02月28日
- 申请公布号CN104613008A
- 申请公布时间2015年05月13日
- 分类号F04D29/32(2006.01)I;F04D29/38(2006.01)I;