摘要：一种双级涡旋干式真空泵，其第一涡旋工作腔的外圆周侧与左涡旋定盘上的进气口相通，在涡旋动盘内沿径向设有气流通道，数量至少为1个，气流通道一端与第一涡旋工作腔的中心侧相通，另一端与第二涡旋工作腔的外圆周侧相通，第二涡旋工作腔的中心侧与右涡旋定盘内的排气通道及排气口相通。涡旋动盘外圆周侧与右涡旋定盘外圆周侧之间通过波纹管密封连接，通过波纹管将第一涡旋工作腔外圆周侧与第二涡旋工作腔外圆周侧密封隔离。波纹管与涡旋动盘、右涡旋定盘之间通过法兰或焊接连接。本发明突破了现有双侧涡旋干式真空泵在压缩比和极限真空度的限制，通过两个串联涡旋工作腔的双级连续压缩，提高了真空泵的压缩比和极限真空度。
- 专利类型发明专利
- 申请人东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人岳向吉;巴德纯;陆艳君;张英莉;刘坤;王光玉;张振厚;毛励珩;
- 地址110819 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号
- 申请号CN201410804998.0
- 申请时间2014年12月19日
- 申请公布号CN104612968B
- 申请公布时间2016年09月28日
- 分类号F04C18/02(2006.01)I;F04C23/00(2006.01)I;F04C25/02(2006.01)I;
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