摘要：本发明涉及一种传送装置和方法，具体为硅片分片传送装置，包括硅片组传送装置、竖向传送装置和水平过渡传送装置，竖向传送装置与水平过渡传送装置共用同一传送带，竖向传送装置与水平过渡传送装置的连接处有压轮；传送带上有通孔，竖向传送装置还有硅片吸盘，硅片吸盘安装在传送带的背面，硅片吸盘上有气孔，气孔与传送带上的通孔对应，气孔与抽气装置连接；硅片组传送装置末端还安装有推送喷头，推送喷头喷射方向朝向竖向传送装置。分片后的单片硅片由推送喷头推送到传送带上，传送带上的通孔通过负压将单片硅片吸附住，通过传送带完成全部传送，简化了传送装置的结构，并且定位精确，吸附负压力小，传送过程稳定。
- 专利类型发明专利
- 申请人无锡市南亚科技有限公司;
- 发明人顾韻;凌兆贵;
- 地址214024 江苏省无锡市南长区扬名高新技术产业园B区107号
- 申请号CN201510051096.9
- 申请时间2015年02月02日
- 申请公布号CN104609146A
- 申请公布时间2015年05月13日
- 分类号B65G47/06(2006.01)I;
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