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    半导体晶片的高速荧光光谱检测装置

      摘要:本发明为一种半导体晶片的高速荧光光谱检测装置,涉及半导体晶片检测装置,主要包括机架(1)、半导体晶片运动机构(2)、激光发生装置(3)、光路收集系统(4)、光谱仪(5)、面阵CCD相机(6)、控制计算机(7),其中,半导体晶片运动机构(2)、激光发生装置(3)、光路收集系统(4)和光谱仪(5)均固定在机架(1)上端,半导体晶片运动机构(2)固定在机架(1)下端,所述的半导体晶片运动机构(2)、激光发生装置(3)、光路收集系统(4)、光谱仪(5)、面阵CCD相机(6),在使用时在暗室(8)内。本发明的检测装置的优点是既能实现高速扫描半导体晶片,又可获得半导体晶片的荧光光谱形状、强度、峰值波长、半高宽等丰富信息。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人北京中拓机械集团有限责任公司;
    • 发明人徐杰;郭金源;
    • 地址102208 北京市昌平区科技园区华通路11号
    • 申请号CN201510034852.7
    • 申请时间2015年01月24日
    • 申请公布号CN104568893A
    • 申请公布时间2015年04月29日
    • 分类号G01N21/64(2006.01)I;