摘要：本发明涉及机械手技术领域，提供了一种手指间距可调的搬运机械手及其晶圆搬运装置。其中机械手包括：设有机械手指（11）的手指单元（10）；固定设置有轴承的连杆（20）；其中一个轴承与一个手指单元（10）固定连接，其余的手指单元（10）的后端一侧开设有沿机械手指方向的槽（40），轴承嵌入槽（40）内并可移动组成曲柄滑块机构；手指单元（10）的后端另一侧设有导轨（60），导轨（60）沿竖直方向设置，手指单元（10）通过滑块（50）沿导轨（60）运动；其中一个手指单元（10）沿竖直方向运动，带动连杆（20）绕与一个手指单元（10）固定连接的轴承转动，带动其他手指单元（10）沿导轨（60）做上下运动。本发明实现了对机械手指间距的有效调节。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人曲道奎;李学威;赵嘉博;陈雷;何元一;柴源;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201310451911.1
- 申请时间2013年09月28日
- 申请公布号CN104517879A
- 申请公布时间2015年04月15日
- 分类号H01L21/677(2006.01)I;B25J9/08(2006.01)I;
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