摘要：本发明公开了一种激光光源的传输腔室内的温控与净化控制系统，包括：设置在光路传输通道的模块腔体之前的二级调压阀，用于调节待进入模块腔体的通道中的气体压力；设置在光路传输通道的气体净化装置和模块腔体之间的毛细管，用于保证光路传输腔室气压与外界气压有微正压；以及设置在光路传输通道的模块腔体之后的节流阀，且每个模块腔体之后对应设置一个所述的节流阀，用于调节各模块腔室与环境大气压的压差。本发明还公开了相应的温控与净化控制方法。本发明的装置和方法通过控制腔体与外界的压差恒定，同时通过加热器和热交换器实现腔体的精确温度控制，从而满足激光光源对于传输腔室内气体的压力和温度的高精确性和稳定性需求。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人李小平;纪辉强;石文中;赵艺文;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201410828841.1
- 申请时间2014年12月26日
- 申请公布号CN104516378A
- 申请公布时间2015年04月15日
- 分类号G05D27/02(2006.01)I;
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