摘要：本发明涉及机械手技术领域，提供了一种手指间距可调的机械手及其晶圆搬运装置。其中机械手包括：至少2个手指单元；至少2个调节杆，调节杆的一端与手指单元转动连接，调节杆（的另一端与第一滑块转动连接；第一滑块沿第一导轨运动，第一导轨沿手指单元的机械手指方向设置；手指单元的侧边设有第二导轨，第二导轨沿竖直方向设置，手指单元通过第二滑块沿第二导轨运动；第一滑块沿第一导轨运动，驱动调节杆转动呈收缩或放开状态，带动手指单元沿第二导轨做上下运动。本发明实现了对机械手指间距的有效调节。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人徐方;赵嘉博;李学威;宋吉来;何伟全;张一博;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201310451948.4
- 申请时间2013年09月28日
- 申请公布号CN104511907A
- 申请公布时间2015年04月15日
- 分类号B25J15/08(2006.01)I;B25J9/10(2006.01)I;
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