摘要:本发明提供了一种具有中阶梯光栅的扫描型光谱仪器,属于扫描型光谱仪器技术领域。本发明入射光经第一凹面反光镜聚焦反射,经第一平面反光镜反射,在第一狭缝处聚焦;入射光经第一狭缝进入第一分光器,经第二平面反光镜反射到凹面光栅,凹面光栅通过旋转,进行波长选择、反射聚焦到第二狭缝;入射光经第二狭缝进入第二分光器,经第二凹面反光镜反射汇聚成平行光到中阶梯光栅,中阶梯光栅通过旋转,进行级次选择、反射到第三凹面反光镜,经第三凹面反光镜反射聚焦到出射狭缝。本发明将中阶梯光栅作为主分光元件,通过高级次光谱实现较高的光谱色散和理想的光学分辨率。使用中阶梯光栅能够把分光器设计的很小。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京锐光仪器有限公司;
- 发明人李毅;
- 地址102206 北京市昌平区生命园路9号
- 申请号CN201410554834.7
- 申请时间2014年10月17日
- 申请公布号CN104406692B
- 申请公布时间2017年02月01日
- 分类号G01J3/06(2006.01)I;G01J3/28(2006.01)I;