摘要：本发明公开了一种广义椭偏仪光强自动调整装置及其控制方法。装置主要包括计算机、光谱仪、伺服电机控制器、直流伺服电机、增量式编码器和中性密度滤光片转盘。在广义椭偏仪硬件连接完成的情况下，根据光谱仪采集的光谱曲线是否饱和以及是否绝大部分在光谱仪线性响应区间来决定是否要转动直流伺服电机，从而带动中性密度滤波片转盘转动以切换中性密度滤波片来改变光源照射出来的光强大小。本发明可以实现对双旋转补偿器广义椭偏仪光强自动调整，且响应快速，操作简单。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人刘世元;李苏斌;李伟奇;张传维;杜卫超;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201410594725.8
- 申请时间2014年10月29日
- 申请公布号CN104344891B
- 申请公布时间2016年06月01日
- 分类号G01J3/447(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I;
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