摘要：本发明公开了一种测量AR减反膜厚度和折射率的方法，本发明的AR减反膜测量方法涉及的装置结构简单，测量速度快，测量准确的特点，与椭偏仪相比，本测量方法无活动部件，所以运行的可靠性很高，同时信号采集速度也很高，所以可以用于在线测量。
- 专利类型发明专利
- 申请人苏州精创光学仪器有限公司;
- 发明人尚修鑫;
- 地址215300 江苏省苏州市昆山市开发区章基路189号
- 申请号CN201410603824.8
- 申请时间2014年11月03日
- 申请公布号CN104296671A
- 申请公布时间2015年01月21日
- 分类号G01B11/06(2006.01)I;G01N21/55(2014.01)I;
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京公网安备11010802043465号
