摘要:本发明涉及气体流量控制技术领域,公开了一种流量控制器。该流量控制器包括:底板,及设置于底板上的出口座、调节阀座、分流器座、流量传感器座和进口座;所述出口座内置有出口,所述调节阀座内置有调节阀,所述分流器座内置有分流器,所述流量传感器座内置有传感器,所述进口座内置有进口;所述底板内设置有气路通道,所述出口座、调节阀座、分流器座、流量传感器座和进口座分别与所述气路通道连通。本发明提供的流量控制器在底板上设置有通道,缩小了流量控制器的整体体积;具有质量轻、方便携带且安装空间小的特点。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京堀场汇博隆精密仪器有限公司;
- 发明人刘贤军;吴英;
- 地址100012 北京市朝阳区北苑路40号
- 申请号CN201410594550.0
- 申请时间2014年10月29日
- 申请公布号CN104281163A
- 申请公布时间2015年01月14日
- 分类号G05D7/06(2006.01)I;