摘要:一种导电薄膜,包括层叠的ZnO层,导电层及V2O5层,其中导电层的材料选自金,银,铜和铂中的一种。上述导电薄膜通过在ZnO层的表面沉积导电层及高功函的V2O5层制备多层导电薄膜,ZnO层既作为缓冲层和匹配层,使导电薄膜的功函数得到了显著的提高并具有较高的透光性。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。
- 专利类型发明专利
- 申请人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
- 发明人周明杰;王平;陈吉星;张振华;
- 地址518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层
- 申请号CN201310207287.0
- 申请时间2013年05月29日
- 申请公布号CN104217787A
- 申请公布时间2014年12月17日
- 分类号H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I;