一种用于有机电致发光器件的蒸发设备

　　摘要：本发明公开了一种用于有机电致发光器件的蒸发设备，包括蒸发掩膜装置及蒸发源，所述蒸发掩膜装置包括蒸发腔体及至少一个掩膜板，所述蒸发腔体的上端开口，有机电致发光器件水平放置于所述蒸发腔体的上端开口处；所述蒸发源设置在所述蒸发腔体的下方，所述蒸发腔体的下端开口，且朝向所述蒸发源；所述掩膜板水平安装在所述蒸发腔体内；所述掩膜板上开设多个通孔，多个所述通孔均匀分布于所述掩膜板。由于掩膜板上设置有多个均匀分布的通孔，使在单位时间内通过掩膜板的蒸发材料速度发生变化，在不改变蒸发源蒸发热量的情况下，能够使材料的蒸发实现一个非常低的蒸发速度；多个通孔均匀分布于掩膜板，可使得蒸发材料分布均匀，保证器件的发光效果。

专利类型发明专利
申请人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
发明人周明杰;冯小明;张振华;王平;
地址518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层
申请号CN201310210296.5
申请时间2013年05月30日
申请公布号CN104213077A
申请公布时间2014年12月17日
分类号C23C14/24(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I;