摘要：一种导电薄膜，包括层叠的RZO层及CrO3层，其中RZO层为铝掺杂的氧化锌，镓掺杂氧化锌和铟掺杂氧化锌中的一种。上述导电薄膜通过在RZO层的表面沉积高功函的CrO3层制备双层导电薄膜，既能保持RZO层的良好的导电性能，又使导电薄膜的功函数得到了显著的提高。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。
- 专利类型发明专利
- 申请人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
- 发明人周明杰;陈吉星;王平;冯小明;
- 地址518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层
- 申请号CN201310206446.5
- 申请时间2013年05月29日
- 申请公布号CN104210167A
- 申请公布时间2014年12月17日
- 分类号B32B9/04(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
