摘要:本发明提供了一种导电石墨烯薄膜,包括玻璃基板;以及设置在玻璃基板表面的功能层;所述功能层包括第一石墨烯层、第二石墨烯层以及介于第一石墨烯层和第二石墨烯层之间的铝掺杂氧化锌层;所述第一石墨烯层和第二石墨烯层的厚度均为40nm~80nm,所述铝掺杂氧化锌层的厚度为20nm~40nm,该导电石墨烯薄膜具有良好的透光率和导电性,本发明还提供了导电石墨烯薄膜的制备方法,包括以下步骤:提供洁净基板,在基板上采用气相沉积的方法制备第一石墨烯层;然后在第一石墨烯层上采用磁控溅射的方法制备铝掺杂氧化锌层,最后在铝掺杂氧化锌层上沉积第二石墨烯层,制备方法简单,本发明还提供了导电石墨烯薄膜的应用。
- 专利类型发明专利
- 申请人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
- 发明人周明杰;冯小明;陈吉星;王平;
- 地址518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层
- 申请号CN201310196701.2
- 申请时间2013年05月23日
- 申请公布号CN104183300A
- 申请公布时间2014年12月03日
- 分类号H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;