摘要：一种导电薄膜，包括层叠的TITO层及ReO3层，其中，TITO为Ti-Sn-In2O3。上述导电薄膜通过在TITO层的表面沉积及高功函的ReO3层制备双层导电薄膜，既能保持TITO层的良好的导电性能，又使导电薄膜的功函数得到了显著的提高。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。
- 专利类型发明专利
- 申请人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
- 发明人周明杰;王平;陈吉星;钟铁涛;
- 地址518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层
- 申请号CN201310193089.3
- 申请时间2013年05月22日
- 申请公布号CN104178728A
- 申请公布时间2014年12月03日
- 分类号C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I;
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