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    导电薄膜、其制备方法及应用

      摘要:一种导电薄膜,包括层叠的TiO2-xFx层及MoO3层,其中,x为0.1~0.6。上述导电薄膜通过在TiO2-xFx层的表面沉积及高功函的MoO3层制备双层导电薄膜,既能保持TiO2-xFx层的良好的导电性能,又使导电薄膜的功函数得到了显著的提高。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
    • 发明人周明杰;王平;陈吉星;冯小明;
    • 地址518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层
    • 申请号CN201310192124.X
    • 申请时间2013年05月22日
    • 申请公布号CN104178727A
    • 申请公布时间2014年12月03日
    • 分类号C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I;