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    一种合流式气体流量控制装置

      摘要:本发明公开了一种合流式气体流量控制装置,包括控制电路板、流量检测器、电磁阀模块;所述流量控制器通过气管与电磁阀模块的第一进气口相连;所述控制电路板通过导线与流量检测器和电磁阀模块相连;所述流量检测器的进气口进入待测气流,流量检测器将流量信号传给控制电路板;所述控制电路板向电磁阀模块发出控制信号;所述电磁阀模块在控制信号的作用下调整阀门角度,从而控制流过流量检测器的气流;本发明通过控制电路板、流量检测器、电磁阀模块的配合使用,能够降低产品成本,简化加工工艺,减小流量变小对真空泵产生负荷,延长真空泵的使用寿命;同时用于气体混合。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人苏州宏瑞净化科技有限公司;
    • 发明人左德庆;
    • 地址215164 江苏省苏州市吴中区胥口镇胥江工业园新峰路409号
    • 申请号CN201410311402.3
    • 申请时间2014年07月02日
    • 申请公布号CN104142695A
    • 申请公布时间2014年11月12日
    • 分类号G05D7/06(2006.01)I;