摘要:一种导电薄膜,包括层叠的ZITO层及Pr2O3层。上述导电薄膜通过在ZITO层的表面沉积高功函的Pr2O3层制备双层导电薄膜,既能保持ZITO层的良好的导电性能,又使导电薄膜的功函数得到了显著的提高。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。
- 专利类型发明专利
- 申请人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
- 发明人周明杰;王平;陈吉星;黄辉;
- 地址518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层
- 申请号CN201310120715.6
- 申请时间2013年04月09日
- 申请公布号CN104099564A
- 申请公布时间2014年10月15日
- 分类号C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I;