摘要：本发明公开了一种加热型边界层控制减阻超精密磁悬浮导轨工作台系统及其方法。包括工作台、导轨、控制装置和激光多普勒干涉仪；导轨的两侧翼和工作台的两内侧面设有两对导向磁铁，导轨两侧下表面和工作台底部两侧上表面设有两对悬浮磁铁和两对直线电机绕组，每对直线电机绕组包括设在工作台的直线电机转子绕组和设在导轨的直线电机定子绕组；本发明通过磁悬浮方式改变空气间隙高压气体从节流孔的高速喷出方式，同时通过边界层上表面加热控制方法，使空气间隙中的气体运动维持在层流状态，减小非接触式工作台运动部件与固定件之间空气间隙内的阻力，提高非接触式工作台定位精度，减小工作台能耗。
- 专利类型发明专利
- 申请人浙江大学;
- 发明人俞自涛;田付有;黄连锋;范利武;朱子钦;李佳琦;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖区玉古路38号
- 申请号CN201410264324.6
- 申请时间2014年06月16日
- 申请公布号CN104092410B
- 申请公布时间2016年06月15日
- 分类号H02N15/00(2006.01)I;B23Q1/38(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
