摘要：本发明公开了一种化学水浴沉积镀膜反应器，应用于薄膜太阳能电池的制备工艺中，以制备CdS、ZnS或Zn(OH)等薄膜。该反应器包括，上边框、硅胶垫、储液槽、下边框、蝶形螺栓等。本发明的超薄化学水浴反应器把化学水浴反应用溶液的用量降低到极点，大大降低了药品用量带来的成本以及废液回收费用，镀液量减少使水浴加热消耗的热量减少，节约了工序能耗；超薄的反应器使加热速度加快，使工序节拍加快，可提高原有设备产能；反应速度加快的直接结果是使基片镀膜工艺条件更加易于控制，更加均匀化，提高了镀膜质量；反应器拆装操作方便；更有利于工艺设备的小型化。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人韩彬;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201310045464.X
- 申请时间2013年04月02日
- 申请公布号CN104091852A
- 申请公布时间2014年10月08日
- 分类号H01L31/18(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
